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 | 致研科技真空鍍膜機的具體操作步驟。
如左圖，首先打開設(shè)備電源，然后操作手動按扭啟動設(shè)備抽真空。 |
 | 接下來打開冷卻水閥門（膜厚檢測儀用），啟動機械泵，打開箱體背部真空手動閥開始對箱體抽低真空。
當(dāng)正空室在低真空度正常以后，對蒸發(fā)室抽高真空。 |
| 若需要對工件進行離子轟擊，在蒸發(fā)室真空度10～1Pa范圍內(nèi)可進行。離子轟擊電壓可用控電柜面板上調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)。轟擊時，工件架必須勻速轉(zhuǎn)動（轉(zhuǎn)速由用戶根據(jù)需要選擇），以便對工件進行均勻轟擊。若需較長時間進行離子轟擊（轟擊時間不應(yīng)超過5min），或用手動充氣閥進行充氣，使真空度維持在10～1Pa范圍內(nèi)以行到佳效果。 |
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